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轻到中负载半导体应用的理想解决方案
高性能
进的螺杆设计，钟形结构，专利自平衡螺杆，卓越的运行质量，安装机械增压泵，适用于负载锁定、传输室、计量、光刻、PVD、快速热处理
高效率
拥有成本低、维护 少、维修间隔长、正常运行时间长、直接水冷
袖珍的
设计用于安装在任何地方，直接连接罐电机、背泵、机械增压泵，安装在紧凑的底座上
市场与应用
半导体相关
中程
太阳能电池板相关
物理气相沉积 (PVD)
日本BUSCH佳武自营旗舰店
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